“못 받으면 망한다” 1대 5000억 ASML 최신 장비 확보전 나선 삼성·인텔·TSMC
최첨단 반도체 공정 경쟁을 벌이고 있는 삼성전자와 SK하이닉스, 인텔, TSMC 등이 차세대 극자외선(EUV) 장비를 확보하기 위해 경쟁을 펼치고 있다. 이 장비를 전 세계 독점 공급하는 반도체 장비 회사 네덜란드 ASML은 반도체 기업들이 장비를 모두 발주했다고 밝혔다.
21일 ASML에 따르면 삼성전자와 SK하이닉스는 현재 개발 단계에 있는 차세대 노광장비 ‘하이 렌즈수차(NA) EUV’를 주문했다. 이 장비는 기존 EUV 장비에 비해 렌즈 해상력을 높인 제품이다. 해상력은 렌즈가 화면이나 물체를 실제 모습처럼 비칠 수 있는 능력으로, NA라는 수치로 표현한다. 이 수치가 높으면 해상력이 증가하고, 빛 굴절률이 낮아져 초미세회로를 웨이퍼(반도체 원판)에 새길 수 있다. 기본 EUV 장비 가격이 약 1억6000만유로(약 2200억원)라면 하이 NA EUV 장비는 3억5000만유로(약 4900억원)를 호가한다. ASML이 2025년 양산을 목표로 개발하고 있다. 삼성전자와 SK하이닉스뿐 아니라 인텔, TSMC 등 기존 미세공정에서 경쟁 중인 다른 반도체 기업들도 모두 이 장비를 주문했다는 게 ASML 설명이다.
삼성전자는 2025년 2㎚(나노미터·10억분의 1m), 2027년 1.4㎚ 미세공정 반도체 양산 계획을 밝히고 있다. 계획대로 제품 생산이 이뤄지려면 하이 NA EUV 장비가 꼭 필요한 상황이다. SK하이닉스도 차세대 D램 개발을 위해 이 장비가 필수라고 밝혔다. 곽노정 SK하이닉스 사장은 “현재 D램은 10㎚급 1a(4세대) 초기 단계에서 양산하고 있는데, 1d(7세대) 수준에서는 핀과 핀 사이의 공간이 너무 가까워져 트랜지스터 동작의 어려움이 예상된다”며 “기존의 EUV 노광 장비만으로는 어렵고, 하이 NA EUV가 필요하다”고 말했다.
하이 NA EUV의 기술 난도가 워낙 높은 탓에 반도체 업계는 이 장비를 먼저 받기 위한 확보전에 돌입했다. 장비를 적기에 받지 못할 경우 미세공정 경쟁에서 뒤처질 수 있다는 위기감에 따른 것이다. 업계 관계자는 “장비를 빨리 도입할수록 양산 노하우는 더 많이 쌓인다”라며 “반도체는 생산 수율(양품 비율)이 중요한데, 이는 양산 노하우가 쌓여야만 높일 수 있기 때문에 장비를 경쟁사보다 하루라도 더 빨리 받으려고 하는 것이다”라고 했다.
파운드리(반도체 위탁생산)의 경우 미세공정 양산을 누가 먼저 시작했느냐에 따라 시장 주도권을 쥔다. 양산을 시작하고 생산 안정화가 진행되면 반도체 생산 주문이 몰리기 때문이다. 현재 양산 중인 EUV 장비도 쟁탈전이 치열하다. 이런 상황에서 하이 NA EUV를 선제적으로 가져오기 위한 눈치 싸움도 상당한 것으로 업계는 전한다.
기존 EUV 연간 생산물량은 40대 안팎에 불과하다. 이 때문에 늘 수요가 공급을 앞선다. ASML이 슈퍼을(乙)로 불리는 이유다. 그런데 지정학적 이유, 반도체 공급 부족 등으로 장비 생산 일정은 계속 밀리고 있다. 하이 NA EUV가 출시되기 전에 EUV를 추가 도입해 미세공정 제조 능력을 키우고 싶어도 쉽지 않다는 것이다. 지난 6월 이재용 삼성전자 부회장이 직접 네덜란드 ASML 본사를 찾은 건 이렇게라도 하지 않으면 장비를 언제 받을 수 있을지 모르는 상황이어서다. 현재 EUV 장비는 TSMC가 수백대, 삼성전자는 수십대, SK하이닉스는 2대를 운용 중인 것으로 알려졌다. 찰덕출장샵 찰덕출장샵 찰덕출장샵 광주출장샵 대전출장샵 대구출장샵 부산출장샵 울산출장샵 서울출장샵 인천출장샵 세종출장샵 서귀포출장샵 제주출장샵 김포출장샵 안양출장샵 안성출장샵 부천출장샵 남양주출장샵 포천출장샵 수원출장샵 성남출장샵 안산출장샵 용인출장샵 가평출장샵 이천출장샵 일산출장샵 파주출장샵 평택출장샵 화성출장샵 의정부출장샵 동해출장샵 삼척출장샵 속초출장샵 원주출장샵 강릉출장샵 춘천출장샵 태백출장샵 공주출장샵 논산출장샵 계룡출장샵 보령출장샵 서산출장샵 아산출장샵 천안출장샵 예산출장샵 당진출장샵 충주출장샵 제천출장샵 청주출장샵 광양출장샵 나주출장샵 목포출장샵 순천출장샵 여수출장샵 익산출장샵 정읍출장샵 남원출장샵 군산출장샵 전주출장샵 김제출장샵 김해출장샵 밀양출장샵 사천출장샵 양산출장샵 진주출장샵 창원출장샵 통영출장샵 거제출장샵 김천출장샵 문경출장샵 상주출장샵 안동출장샵 영천출장샵 영주출장샵 포항출장샵 경산출장샵 구미출장샵 경주출장샵 완도출장샵 경기출장샵 양평출장샵 광명출장샵 동두천출장샵 고양출장샵 과천출장샵 구리출장샵 오산출장샵 시흥출장샵 군포출장샵 의왕출장샵 하남출장샵 양주출장샵 여주출장샵 연천출장샵 궁합출장샵 궁합출장샵 광주출장샵 대전출장샵 대구출장샵 부산출장샵 울산출장샵 서울출장샵 인천출장샵 세종출장샵 제주출장샵 서귀포출장샵 김포출장샵 안양출장샵 안성출장샵 부천출장샵 남양주출장샵 포천출장샵 수원출장샵 성남출장샵 안산출장샵 용인출장샵 가평출장샵 이천출장샵 일산출장샵 파주출장샵 평택출장샵 화성출장샵 의정부출장샵 동해출장샵 삼척출장샵 속초출장샵 원주출장샵 강릉출장샵 춘천출장샵 태백출장샵 김천출장샵 문경출장샵 상주출장샵 안동출장샵 영천출장샵 영주출장샵 포항출장샵 경산출장샵 구미출장샵 경주출장샵 김해출장샵 밀양출장샵 사천출장샵 양산출장샵 진주출장샵 창원출장샵 통영출장샵 거제출장샵 익산출장샵 정읍출장샵 남원출장샵 군산출장샵 전주출장샵 김제출장샵 광양출장샵 나주출장샵 목포출장샵 순천출장샵 여수출장샵 충주출장샵 제천출장샵 청주출장샵 공주출장샵 논산출장샵 계룡출장샵 보령출장샵 서산출장샵 아산출장샵 천안출장샵 예산출장샵 당진출장샵 출장샵 출장샵 광주출장샵 대전출장샵 대구출장샵 울산출장샵 서울출장샵 부산출장샵 인천출장샵 세종출장샵 경기도출장샵 김포출장샵 안양출장샵 안성출장샵 부천출장샵 남양주출장샵 포천출장샵 수원출장샵 성남출장샵 안산출장샵 용인출장샵 가평출장샵 이천출장샵 일산출장샵 파주출장샵 평택출장샵 화성출장샵 의정부출장샵 양평출장샵 광명출장샵 동두천출장샵 고양출장샵 과천출장샵 구리출장샵 오산출장샵 시흥출장샵 군포출장샵 의왕출장샵 하남출장샵 양주출장샵 여주출장샵 연천출장샵 제주도출장샵 제주출장샵 서귀포출장샵 강원도출장샵 동해출장샵 삼척출장샵 속초출장샵 원주출장샵 강릉출장샵 춘천출장샵 태백출장샵 평창출장샵 영월출장샵 정선출장샵 고성출장샵 경남출장샵 김해출장샵 밀양출장샵 사천출장샵 양산출장샵 진주출장샵 창원출장샵 통영출장샵 거제출장샵 경북출장샵 김천출장샵 문경출장샵 상주출장샵 안동출장샵 영천출장샵 영주출장샵 포항출장샵 영덕출장샵 경산출장샵 구미출장샵 경주출장샵 울진출장샵 전남출장샵 광양출장샵 나주출장샵 목포출장샵 순천출장샵 함평출장샵 보성출장샵 여수출장샵 전북출장샵 익산출장샵 정읍출장샵 남원출장샵 군산출장샵 전주출장샵 김제출장샵 충남출장샵 공주출장샵 논산출장샵 계룡출장샵 보령출장샵 서산출장샵 아산출장샵 천안출장샵 예산출장샵 청양출장샵 당진출장샵 충북출장샵 충주출장샵 제천출장샵 청주출장샵 거북이출장샵 거북이출장샵 종로출장샵 중구출장샵 용산출장샵 성동출장샵 광진출장샵 동대문출장샵 중랑출장샵 성북출장샵 강북출장샵 도봉출장샵 노원출장샵 은평출장샵 서대문출장샵 마포출장샵 양천출장샵 강서출장샵 금천출장샵 영등포출장샵 동작출장샵 관악출장샵 서초출장샵 강남출장샵 송파출장샵 강동출장샵 강서출장샵 동출장샵 영도출장샵 진구출장샵 동래출장샵 남구출장샵 북구출장샵 해운대출장샵 사하출장샵 금정출장샵 연제출장샵 수영출장샵 사상출장샵 수성출장샵 달서출장샵 미추홀출장샵 연수출장샵 남동출장샵 부평출장샵 계양출장샵 광산출장샵 유성출장샵 대덕출장샵 진해출장샵 마산회원출장샵 마산합포출장샵 성산출장샵 의창출장샵 덕진출장샵 완산출장샵 창원출장샵 서원출장샵 서북출장샵 동남출장샵 흥덕출장샵 상당출장샵 장안출장샵 권선출장샵 수지출장샵 시흥출장샵 처인구출장샵 일산서구출장샵 일산동구출장샵 덕양출장샵 단원출장샵 상록출장샵 동안출장샵 만안출장샵 분당출장샵 중원출장샵 수정출장샵 영통출장샵 팔달출장샵 휴미출장샵 웅진출장샵 달성출장샵 울주출장샵 강화출장샵 부산출장샵 서울출장샵 대구출장샵 인천출장샵 광주출장샵 울산출장샵 대전출장샵 세종출장샵 연천출장샵 가평출장샵 양평출장샵 경기출장샵 수원출장샵 성남출장샵 의정부출장샵 양평출장샵 안양출장샵 부천출장샵 광명출장샵 동두천출장샵 평택출장샵 안산출장샵 고양출장샵 과천출장샵 홍천출장샵 횡성출장샵 영월출장샵 평창출장샵 정선출장샵 철원출장샵 화천출장샵 양구출장샵 인제출장샵 고성출장샵 양양출장샵 금산출장샵 부여출장샵 서천출장샵 청양출장샵 홍성출장샵 예산출장샵 태안출장샵 보은출장샵 옥천출장샵 영동출장샵 증평출장샵 진천출장샵 괴산출장샵 음성출장샵 단양출장샵 담양출장샵 홍성출장샵 구례출장샵 고흥출장샵 보성출장샵 화순출장샵 장흥출장샵 강진출장샵 해남출장샵 영암출장샵 무안출장샵 함평출장샵 영광출장샵 장성출장샵 신안출장샵 완주출장샵 진안출장샵 무주출장샵 장수출장샵 임실출장샵 순창출장샵 고창출장샵 부안출장샵 의령출장샵 함안출장샵 창녕출장샵 고성출장샵 남해출장샵 하동출장샵 산청출장샵 거창출장샵 합천출장샵 군위출장샵 의성출장샵 영양출장샵 청도출장샵 고령출장샵 성주출장샵 예천출장샵 봉화출장샵 울진출장샵 울릉출장샵 청송출장샵 제주출장샵 서귀포출장샵 콜미출장샵 광주출장샵 대전출장샵 대구출장샵 부산출장샵 울산출장샵 서울출장샵 인천출장샵 세종출장샵 김포출장샵 안양출장샵 안성출장샵 부천출장샵 남양주출장샵 포천출장샵 수원출장샵 성남출장샵 안산출장샵 용인출장샵 가평출장샵 이천출장샵 일산출장샵 파주출장샵 평택출장샵 화성출장샵 의정부출장샵 경기출장샵 양평출장샵 광명출장샵 동두천출장샵 고양출장샵 과천출장샵 구리출장샵 오산출장샵 시흥출장샵 군포출장샵 의왕출장샵 하남출장샵 양주출장샵 여주출장샵 연천출장샵 동해출장샵 삼척출장샵 속초출장샵 원주출장샵 강릉출장샵 춘천출장샵 태백출장샵 평창출장샵 영월출장샵 정선출장샵 고성출장샵 김해출장샵 밀양출장샵 사천출장샵 양산출장샵 진주출장샵 창원출장샵 통영출장샵 거제출장샵 김천출장샵 문경출장샵 상주출장샵 안동출장샵 영천출장샵 영주출장샵 포항출장샵 영덕출장샵 경산출장샵 구미출장샵 경주출장샵 울진출장샵 광양출장샵 나주출장샵 목포출장샵 순천출장샵 함평출장샵 보성출장샵 여수출장샵 익산출장샵 정읍출장샵 남원출장샵 군산출장샵 전주출장샵 김제출장샵 공주출장샵 논산출장샵 계룡출장샵 보령출장샵 서산출장샵 아산출장샵 천안출장샵 예산출장샵 청양출장샵 당진출장샵 충주출장샵 제천출장샵 청주출장샵 제주출장샵 서귀포출장샵 연천출장샵 여주출장샵 양주출장샵 하남출장샵 의왕출장샵 군포출장샵 시흥출장샵 오산출장샵 구리출장샵 과천출장샵 고양출장샵 동두천출장샵 광명출장샵 양평출장샵 경기출장샵 출장샵 광주출장샵 대전출장샵 대구출장샵 부산출장샵 울산출장샵 서울출장샵 인천출장샵 세종출장샵 김포출장샵 안양출장샵 안성출장샵 부천출장샵 남양주출장샵 포천출장샵 수원출장샵 성남출장샵 안산출장샵 용인출장샵 가평출장샵 이천출장샵 일산출장샵 파주출장샵 평택출장샵 화성출장샵 의정부출장샵 경기출장샵 양평출장샵 광명출장샵 동두천출장샵 고양출장샵 과천출장샵 구리출장샵 오산출장샵 시흥출장샵 군포출장샵 의왕출장샵 하남출장샵 양주출장샵 여주출장샵 연천출장샵 동해출장샵 삼척출장샵 속초출장샵 원주출장샵 강릉출장샵 춘천출장샵 태백출장샵 평창출장샵 영월출장샵 정선출장샵 고성출장샵 김해출장샵 밀양출장샵 사천출장샵 양산출장샵 진주출장샵 창원출장샵 통영출장샵 거제출장샵 김천출장샵 문경출장샵 상주출장샵 안동출장샵 영천출장샵 영주출장샵 포항출장샵 영덕출장샵 경산출장샵 구미출장샵 경주출장샵 울진출장샵 광양출장샵 나주출장샵 목포출장샵 순천출장샵 함평출장샵 보성출장샵 여수출장샵 익산출장샵 정읍출장샵 남원출장샵 군산출장샵 전주출장샵 김제출장샵 공주출장샵 논산출장샵 계룡출장샵 보령출장샵 서산출장샵 아산출장샵 천안출장샵 예산출장샵 청양출장샵 당진출장샵 충주출장샵 제천출장샵 청주출장샵 제주출장샵 서귀포출장샵
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